導(dǎo)航
產(chǎn)品信息
特 點
● 采用分光干涉法
● 搭載高精度FFT膜厚解析系統(tǒng)（專利 第4834847號）
● 使用光學(xué)光纖，可靈活構(gòu)筑測量系統(tǒng)
● 可嵌入至各種制造設(shè)備。
● 實時測量膜厚
● 可對應(yīng)遠程操作、多點測量
● 采用壽命長、安全性高的白色LED光源
測量項目
多層膜厚解析
用 途
光學(xué)薄膜（超硬涂層、AR薄膜、ITO等）
FPD相關(guān)（光刻膠、SOI、SiO2等）
設(shè)備構(gòu)成
單點型
半導(dǎo)體晶圓的面內(nèi)分布測量
玻璃基板的面內(nèi)分布測量
多點型
實時測量
流向品質(zhì)管理
真空室適用
導(dǎo)線型
實時測量
寬度方向品質(zhì)管理
測量案例
超硬涂層的膜厚解析
設(shè)備構(gòu)成
單點型
半導(dǎo)體晶圓的面內(nèi)分布測量
玻璃基板的面內(nèi)分布測量
多點型
實時測量
流向品質(zhì)管理
真空室適用
導(dǎo)線型
實時測量
寬度方向品質(zhì)管理
測量案例
超硬涂層的膜厚解析
